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磁控濺射用難熔金屬靶材制作、應用與發展

賈國斌  馮寅楠  賈英  
【摘要】:隨著磁控濺射技術應用日益廣泛,難熔金屬靶材需求不斷增大。就難熔金屬靶材應用、制備及發展進行總結和探討,分析了制作過程中致密度、純度、晶粒尺寸及結晶取向對靶材性能的影響,并對難熔金屬靶材的發展趨勢進行展望。

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